首屆世界集成電路大會（簡稱“IC WORLD”）于10月22日至24日在北京亦莊國際會展中心隆重舉行。北京市人民政府、中芯國際集成電路制造（北京）有限公司、京東方集團、聯(lián)想集團等領(lǐng)頭羊企業(yè)齊聚一堂，共同展望全球集成電路產(chǎn)業(yè)的未來。
本次大會是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈成果展示的盛會，更是產(chǎn)業(yè)同仁學(xué)習(xí)交流的盛會。新松機器人自動化股份有限公司（以下簡稱“新松”）作為一家致力于全智能產(chǎn)品及服務(wù)的高科技上市企業(yè)，中國機器人產(chǎn)業(yè)的翹楚和工業(yè)4.0的踐行者和推動者，重裝參展IC WORLD盛會，助力集成電路產(chǎn)業(yè)宣傳。新松公司重點業(yè)務(wù)涵蓋核心零部件、機器人和正常自動化解決方案。2018年新松整合了IC裝備業(yè)務(wù)，成立了半導(dǎo)體裝備BG，并收購韓國新盛（SHINSUNG FA)。完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)，技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先，達到國際先進水平。
潔凈（真空）機器人及半導(dǎo)體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一，現(xiàn)已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。新松本次參展的產(chǎn)品是真空機械手Pinus-B37及復(fù)合機器人。
新松PINUS-B37 是全球領(lǐng)先的對稱連桿型真空直驅(qū)機械手，由新松公司自主研發(fā)設(shè)計，采用磁流體密封、直驅(qū)電機密封等技術(shù)；帶有大屏幕機器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能，易于操作，具有牽引示教功能；這些高靈活性，高穩(wěn)定性的設(shè)計尤其適用于等離子刻蝕設(shè)備Etcher、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣象沉積CVD等工藝設(shè)備，尤其可以對應(yīng)多腔室真空設(shè)備，能夠滿足滿足IC產(chǎn)業(yè)自動化領(lǐng)域的傳輸需求。
新松復(fù)合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導(dǎo)航等技術(shù)，可快速布局自動化工廠，適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式，實現(xiàn)友好的人機協(xié)作功能，具有高效的智能物料配送方案。滿足企業(yè)數(shù)字化工廠對生產(chǎn)設(shè)備的苛刻需求，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP,CST,MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達±0.05mm，CLASS 100潔凈度，能為半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。
